자료유형 | 학위논문 |
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서명/저자사항 | Selective Deposition of Atomic-Layer-Deposited Cobalt Thin Film for Hybrid Bonding Applications = 하이브리드 본딩 적용을 위한 원자층 증착 코발트 박막의 선택적 증착 / Kim Sujeong. |
개인저자 | Kim, Sujeong |
단체저자명 | 전남대학교. 일반대학원. 신소재공학과. |
발행사항 | 광주: 전남대학교 대학원, 2024 |
형태사항 | ix, 38 p. ; 26 cm |
학위논문주기 | 학위논문(석사)--전남대학교 일반대학원:신소재공학과 ,2024. 2 |
일반주기 |
지도교수: 허재영
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비통제주제어 | Selective Deposition,Atomic Layer Deposition,Cobalt,ODTS |
분류기호(DDC) | 620.11 |
언어 | 영어 |
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No. | 등록번호 | 청구기호 | 소장처 | 밀집번호 | 도서상태 | 반납예정일 | 예약 | 서비스 | 매체정보 |
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1 | 9121967 | TM 620.11 K49sc 2024 | 중앙도서관[별관]/학위논문실/ | Z4143995 | 대출불가(별치) |