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Understanding MEMS : principles and applications
상세 프로파일
상세정보
자료유형 | 단행본 |
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서명/저자사항 | Understanding MEMS: principles and applications / Luis Castañer. |
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개인저자 | Castañer, Luis.
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발행사항 | Chichester: Wiley, 2016. |
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형태사항 | xiv, 314 p. : ill. ; 26 cm. |
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ISBN | 9781119055426 (cloth) :
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서지주기 | Includes bibliographical references (p. [307]-309) and index.
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내용주기 | Scaling of forces -- Elasticity -- Bending of microstructures -- Piezoresistance and piezoelectricity -- Electrostatic driving and sensing -- Resonators -- Microfluidics and electrokinetics -- Thermal devices -- Fabrication.
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일반주제명 | Microelectromechanical systems.
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분류기호(DDC) | 621.381
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언어 | 영어 |
서평
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