자료유형 | 학위논문 |
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서명/저자사항 | E-beam evaporation을 이용하여 증착한 Al과 Cr 박막의 증착 중단 이후에 발생하는 응력 완화에 관한 연구/ 유준영 저. |
개인저자 | 유준영 |
단체저자명 | 전남대학교 대학원 신소재공학과. |
발행사항 | 광주: 전남대학교 대학원, 2013. |
형태사항 | iii, 39 p.: 삽화; 30 cm. |
대등표제 | (A) study of stress relaxation of Al and Cr thin films deposited by E-beam evaporation method |
ISBN | |
학위논문주기 | 학위논문(석사)--전남대학교 대학원 일반대학원:신소재공학과,2013. 8 |
일반주기 |
전남대학교 논문은 저작권에 의해 보호받습니다.
지도교수: 김영만 |
서지주기 | 참고문헌 : p. 36-37 |
시스템주기 | Requires PDF file reader(application/pdf) |
비통제주제어 | E-beam,thin film,film stress,stress relaxation |
분류기호(DDC) | 620.11 |
언어 | 한국어 |
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No. | 등록번호 | 청구기호 | 소장처 | 밀집번호 | 도서상태 | 반납예정일 | 예약 | 서비스 | 매체정보 |
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1 | 9111703 | TM 620.11 유77ㅇㅈ 2013 | 중앙도서관[별관]/보존자료실/ | Y4140021 | 대출불가(별치) |