부가기능
RF 마그네트론 스퍼터링 법으로 제작한 ITZO 박막의 구조적, 전기적 및 광학적 특성
상세 프로파일
상세정보
자료유형 | 학위논문 |
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서명/저자사항 | RF 마그네트론 스퍼터링 법으로 제작한 ITZO 박막의 구조적, 전기적 및 광학적 특성/ 서진우 저. |
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개인저자 | 서진우
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단체저자명 | 전남대학교 대학원. 전기및반도체공학과.
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발행사항 | 광주: 전남대학교 대학원, 2013. |
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형태사항 | 63 p.: 삽화; 30 cm. |
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대등표제 | Structural, electrical, and optical properties of ITZO thin films fabricated by RF magnetron sputtering method
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ISBN |
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학위논문주기 | 학위논문(석사)--전남대학교 대학원 일반대학원:전기및반도체공학과,2013. 8 |
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일반주기 |
지도교수: 강성준
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서지주기 | 참고문헌 : p. 48-51
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시스템주기 | Requires PDF file reader(application/pdf) |
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비통제주제어 | "ITZO", "RF magnetron sputtering", "ITO" |
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분류기호(DDC) | 621.3
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언어 | 한국어 |
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소장정보
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No. |
등록번호 |
청구기호 |
소장처 |
밀집번호 |
도서상태 |
반납예정일 |
예약 |
서비스 |
매체정보 |
1 |
50215968 |
TM 621.3 서79ㅇㅈ 2013 |
여수캠퍼스도서관/논문실/
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대출불가(별치) |
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