전자빔을 이용한 패턴형성 연구

상세정보

자료유형	단행본
서명/저자사항	전자빔을 이용한 패턴형성 연구= Patterning using e-beam irradiation/ [주관연구책임자: 안종렬]; [연구원]: 남정호; 김석환; 주관연구기관: 성균관대학교 물리학과.
개인저자	안종렬  남정호  김석환
단체저자명	과학기술부 성균관대학교 물리학과. 한국. 과학기술부.
발행사항	[과천]: 과학기술부, 2007.
형태사항	1책: 삽화; 30 cm.
보고서번호	M20602000061-06B0200-06110
일반주기	중사업명: 원자력연구기반확충사업 세부사업명: 대형연구시설공동이용활성화(전자빔)
서지주기	권말 참고문헌 수록
분류기호(DDC)	600
언어	한국어