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PE-MOCVD 방법에 의한 ZnO 박막성장 및 특성 평가
상세 프로파일
상세정보
자료유형 | 학위논문 |
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서명/저자사항 | PE-MOCVD 방법에 의한 ZnO 박막성장 및 특성 평가= Characterization and growth of ZnO thin film using plasma enhanced metal organic chemical vapor deposition/ 박주훈 저. |
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개인저자 | 박주훈
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발행사항 | 광주: 전남대학교 대학원, 2006. |
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형태사항 | 124p: 삽화; 26cm. |
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대등표제 | Characterization and growth of ZnO thin film using plasma enhanced metal organic chemical vapor deposition
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ISBN |
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학위논문주기 | 학위논문(박사)--전남대학교 대학원 일반대학원:광공학협동과정,2006. 8 |
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일반주기 |
지도교수:이병택
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서지주기 | 참고문헌: p.109-112
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시스템주기 | Requires PDF file reader(application/pdf) |
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비통제주제어 | ZnOMOCVD |
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분류기호(DDC) | 621.36
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언어 | 한국어 |
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