실리콘 나노구조 형성 및 제어 기술 연구

상세정보

자료유형	단행본
서명/저자사항	실리콘 나노구조 형성 및 제어 기술 연구= Formation and manipulation of si nanostructures/ 한국표준과학연구원 연구기관; 김경중 연구책임; 조만호...[등]연구.
개인저자	김경중.
단체저자명	한국. 과학기술부. 한국표준과학연구원.
발행사항	과천: 과학기술부, 2005.
형태사항	105 p.: 삽화, 챠트; 30 cm.
보고서번호	M1-0221-01-0002
일반주기	이 보고서는 과학기술부에서 시행한 특정연구개발사업의 연구보고서임. 극미세구조 기술개발사업의 세부과제임. 연구기관: 한국표준과학연구원, 연구책임자: 김경중
비통제주제어	실리콘.,나노구조.
분류기호(DDC)	661.0638
언어	한국어