자료유형 | 단행본 |
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서명/저자사항 | 세정용 300mm Wafer 반송시스템 개발= 300mm Wafer Transfer System for Cleaner/ 과학기술부 編. |
개인저자 | 박순규 |
단체저자명 | 한국. 과학기술부. 케이.씨 텍 부설연구소. 한국생산기술연구원. |
발행사항 | 과천: 과학기술부, 2001. |
형태사항 | 74 p.: 삽화; 30 cm. |
일반주기 |
협동연구기관 : 한국생산기술연구원
주관연구책임자: 박순규, 연구기관: 케이,씨,텍 부설연구소 |
분류기호(DDC) | 629.892 |
언어 | 한국어 |
보존/밀집/기증 자료 신청 분관대출 서가부재도서 무인예약대출 배달서비스 소장위치출력
No. | 등록번호 | 청구기호 | 소장처 | 밀집번호 | 도서상태 | 반납예정일 | 예약 | 서비스 | 매체정보 |
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1 | 736682 | 629.892 한17ㅅㄱ | 중앙도서관[별관]/보존자료실/ | Y5122782 | 대출가능 |