자료유형 | 단행본 |
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서명/저자사항 | Plasma cleaning을 이용한 MEMS용 Si-wafer/glass, Cu의 무플럭스 micro-soldering 기술 개발= Fluxless micro-soldering of Si-wafer to glass and to Cu using plasma cleaning/ 과학기술부 [編]; 서울시립대학교 [연구]; 정재필 [外]연구. |
개인저자 | 정재필 김문일 신규식 박지호 문준권 |
단체저자명 | 서울시립대학교. 과학기술부. |
발행사항 | 과천: 과학기술부, 2001. |
형태사항 | 38 p.: 삽화; 29 cm. |
보고서번호 | 2000-IU-99-010 |
서지주기 | 참고문헌 : p.[37]-[38] |
분류기호(DDC) | 600 |
언어 | 한국어 |
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No. | 등록번호 | 청구기호 | 소장처 | 밀집번호 | 도서상태 | 반납예정일 | 예약 | 서비스 | 매체정보 |
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1 | 719924 | 600 한17ㅎㄱ 2000-10 | 중앙도서관[별관]/보존자료실/ | Y5119454 | 대출가능 |