자료유형 | 학위논문 |
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서명/저자사항 | Synthesis and characterization of alumina thin films on Si-wafer with aluminum tri-isopropoxide by PEMOCVD = PEMOCVD 방법으로 Si 기판위에 증착된 Al₂O₃박막의 합성과 특성 / Su Kyung Kim. |
개인저자 | 김수경. Kim, Su-kyung, |
단체저자명 | 경북대학교. 대학원. 화학과. |
발행사항 | 대구: 경북대학교, 1996. |
형태사항 | 43 p.: ill., plates; 26 cm. |
학위논문주기 | 학위논문(석사) -- 경북대학교 대학원 : 화학과 물리화학전공, 1996 |
비통제주제어 | ALUMINA,THIN,FILMS,WAFER,ALUMINUM,TRIISOPROPOXIDE,PEMOCVD,SI,AL₂O₃박막,박막 |
분류기호(DDC) | 541.37 |
언어 | 영어 |
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No. | 등록번호 | 청구기호 | 소장처 | 밀집번호 | 도서상태 | 반납예정일 | 예약 | 서비스 | 매체정보 |
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1 | 9054448 | TM 541.37 김57ㅅㄱ 1996 | 중앙도서관[별관]/보존자료실/ | Y2036441 | 대출불가(별치) |