부가기능
고주파 마그네트론 스펏터링법을 이용한 ZnO薄膜의 製造 및 SAW필터 應用
상세 프로파일
상세정보
자료유형 | 학위논문 |
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서명/저자사항 | 고주파 마그네트론 스펏터링법을 이용한 ZnO薄膜의 製造 및 SAW필터 應用= Fabrication and SAW filter application of ZnO thin films using rf planar magnetron sputtering/ 金永振. |
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개인저자 | 김영진.
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단체저자명 | 경북대학교. 대학원. 전자공학과.
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발행사항 | 대구: 慶北大學校, 1997. |
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형태사항 | 102p.: 삽화; 26cm. |
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학위논문주기 | 학위논문(박사) -- 경북대학교 대학원:전자공학과 반도체공학전공,1997 |
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비통제주제어 | 고주파,마그네트론,스펏터링법,ZNO,박막,SAW필터,FABRICATION,SAW,FILTER,APPLICATION,THIN,FILMS,RF,PLANAR,MAGNETRON,SPUTTERING |
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분류기호(DDC) | 621.38
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언어 | 한국어 |
소장정보
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No. |
등록번호 |
청구기호 |
소장처 |
밀집번호 |
도서상태 |
반납예정일 |
예약 |
서비스 |
매체정보 |
1 |
9021442 |
TD 621.38 김64ㄱㄱ 1997 |
중앙도서관[별관]/보존자료실/
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Y3109387 |
대출불가(별치) |
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