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Ⅲ-Ⅴ족 반도체 AlN 박막의 저온 에피성장과 물리적 성질에 관한 연구
상세 프로파일
상세정보
자료유형 | 학위논문 |
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서명/저자사항 | Ⅲ-Ⅴ족 반도체 AlN 박막의 저온 에피성장과 물리적 성질에 관한 연구= (A)study on the AlN thin films epitaxially grown on Al₂O₃(0001) at low temperature/ 金珍佑. |
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개인저자 | 김진우.
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단체저자명 | 부산대학교. 대학원. 물리학과.
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발행사항 | 부산: 釜山大學校, 1998. |
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형태사항 | vii,173장: 삽화; 26cm. |
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학위논문주기 | 학위논문(박사) -- 부산대학교 대학원:물리학과,1998 |
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비통제주제어 | 반도체,ALN,박막,저온,에피성장,THIN,FILMS,EPITAXIALLY,GROWN,AL₂O₃000,LOW,TEMPERATURE |
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분류기호(DDC) | 537.54
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언어 | 한국어 |
소장정보
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No. |
등록번호 |
청구기호 |
소장처 |
밀집번호 |
도서상태 |
반납예정일 |
예약 |
서비스 |
매체정보 |
1 |
9019456 |
TD 537.54 김79ㅅㅂ 1998 |
중앙도서관[별관]/보존자료실/
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Y2022440 |
대출불가(별치) |
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