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고품질 구리박막제조를 위한 휘발성이 큰 구리 화학증착 전구체 합성에 관한 연구
상세 프로파일
상세정보
자료유형 | 학위논문 |
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서명/저자사항 | 고품질 구리박막제조를 위한 휘발성이 큰 구리 화학증착 전구체 합성에 관한 연구= (A)study on the syntheses of volatile copper compounds for chemical vapor deposition of high-quality copper films/ 黃淳澤. |
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개인저자 | 황순택.
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단체저자명 | 중앙대학교. 대학원. 화학과.
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발행사항 | 서울: 中央大學校, 1998. |
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형태사항 | iii,138장: 삽화,도판; 26cm. |
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학위논문주기 | 학위논문(박사) -- 중앙대학교 대학원:화학과 무기화학전공,1998 |
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비통제주제어 | 구리박막,휘발성,구리,화학증착,전구체,SYNTHESES,COPPER,COMPOUNDS |
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분류기호(DDC) | 546.652
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언어 | 한국어 |
소장정보
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No. |
등록번호 |
청구기호 |
소장처 |
밀집번호 |
도서상태 |
반납예정일 |
예약 |
서비스 |
매체정보 |
1 |
9019388 |
TD 546.652 황57ㄱㅈ 1998 |
중앙도서관[별관]/보존자료실/
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Y3098876 |
대출불가(별치) |
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