자료유형 | 학위논문 |
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서명/저자사항 | CVD법에 의한 silicon tetra-acetate로부터 SiO₂박막의 합성/ 金容錫 著. |
개인저자 | 김용석. Kim Yong-Seok |
단체저자명 | 전남대학교. 대학원. 공업화학과. |
발행사항 | 광주: 전남대학교 대학원, 1997. |
형태사항 | 59 p.: 삽화; 26 cm. |
학위논문주기 | 학위논문(석사) -- 전남대학교 대학원:공업화학과,1997년 2월 |
일반주기 |
지도교수: 박흥철
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서지주기 | 참고문헌 : p. 53-54. |
비통제주제어 | CVD,SiO₂,박막 |
분류기호(DDC) | 660.2842 |
언어 | 한국어 |
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No. | 등록번호 | 청구기호 | 소장처 | 밀집번호 | 도서상태 | 반납예정일 | 예약 | 서비스 | 매체정보 |
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1 | 9000122 | TM 660.2842 김66ㅅㅈ 1997 | 중앙도서관[별관]/학위논문실/ | Z4116847 | 대출불가(별치) |
v1, 서론. -- 2, 이론. -- 2.1, SiO₂박막. -- 2.2, 원료의 선택. -- 2.3, CVD 박막의 증착메카니즘. -- 2.4, 박막의 성장메카니즘. -- 2.5, 반응. -- 3, 실험. -- 4, 결과 및 고찰. -- 4.1, 적층에 미치는 온도의 영향. -- 4.2, N₂유속의 영향마토그래피 칼럼. -- 4.3, O₂의 영향. -- ...