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[키워드: "Kamineni, Vimal"]
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주제
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metrology
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green's functions
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sidewall roughness
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5
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small angle x-ray scattering
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5
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cmos
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complementary metal oxide semiconductors
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contact resistance
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critical dimension atomic force microscopy
(
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)
critical dimension metrology
(
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doping
(
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mueller calculus
(
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)
semiconductors
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spectroscopic ellipsometry
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surfaces (technology)
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)
thin films
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contact resistance (materials science)
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discrete fourier transforms
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line edge roughness
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mueller matrix
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ohmic contacts
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optical properties
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power spectral density
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scanning electron microscope
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substrates
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benzocyclobutene
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block copolymers
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components, circuits, devices and systems
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conical diffraction
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A manufacturable platform for photonic quantum computing
보고서
Author
Alexander, Koen
Bahgat, Andrea
Benyamini, Avishai
Black, Dylan
Bonneau, Damien
Burgos, Stanley
Burridge, Ben
Campbell, Geoff
Catalano, Gabriel
Ceballos, Alex
Chang, Chia-Ming
Chung, CJ
Danesh, Fariba
Dauer, Tom
Davis, Michael
Dudley, Eric
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Fargas, Josep
Farsi, Alessandro
Fenrich, Colleen
Frazer, Jonathan
Fukami, Masaya
Ganesan, Yogeeswaran
Gibson, Gary
Gimeno-Segovia, Mercedes
Goeldi, Sebastian
Goley, Patrick
Haislmaier, Ryan
Halimi, Sami
Hansen, Paul
Hardy, Sam
Horng, Jason
House, Matthew
Hu, Hong
Jadidi, Mehdi
Johansson, Henrik
Jones, Thomas
Kamineni
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Vimal
Kelez, Nicholas
Koustuban, Ravi
Kovall, George
Krogen, Peter
Kumar, Nikhil
Liang, Yong
LiCausi, Nicholas
Llewellyn, Dan
Lokovic, Kimberly
Lovelady, Michael
Manfrinato, Vitor
Melnichuk, Ann
Souza, Mario
Mendoza, Gabriel
Moores, Brad
Mukherjee, Shaunak
Munns, Joseph
Musalem, Francois-Xavier
Najafi, Faraz
O'Brien, Jeremy L.
Ortmann, J. Elliott
Pai, Sunil
Park, Bryan
Peng, Hsuan-Tung
Penthorn, Nicholas
Peterson, Brennan
Poush, Matt
Pryde, Geoff J.
Ramprasad, Tarun
Ray, Gareth
Rodriguez, Angelita
Roxworthy, Brian
Rudolph, Terry
Saunders, Dylan J.
Shadbolt, Pete
Shah, Deesha
Shin, Hyungki
Smith, Jake
Sohn, Ben
Sohn, Young-Ik
Son, Gyeongho
Sparrow, Chris
Staffaroni, Matteo
Stavrakas, Camille
Sukumaran, Vijay
Tamborini, Davide
Thompson, Mark G.
Tran, Khanh
Triplet, Mark
Tung, Maryann
Vert, Alexey
Vidrighin, Mihai D.
Vorobeichik, Ilya
Weigel, Peter
Wingert, Mathhew
Wooding, Jamie
Zhou, Xinran
DB Label
Database : arXiv
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Open Access (Arxiv)
2
Self-Allancd Gate Contact (SAGC) for CMOS technology scaling beyond 7nm
회의자료
issue
2019 Symposium on VLSI Technology VLSI Technology, 2019 Symposium on. :T148-T149 Jun, 2019
Author
Xie, Ruilong
Park, Chanro
Conti, Richard
Robison, Robert
Zhou, Huimei
Saraf, Iqbal
Carr, Adra
Fan, Susan Su Chen
Ryan, Kevin
Belyansky, Michael
Pancharatnam, Shanti
Young, Albert
Wang, Junli
Greene, Andrew
Cheng, Kangguo
Li, Juntao
Conte, Richard
Tang, Hao
Choi, Kisik
Amanapu, Hari
Peethala, Brown
Muthinti, Raja
Raymond, Mark
Prindle, Christopher
Liang, Yong
Tsai, Stan
Kamineni
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Vimal
Labonte, Andre
Cave, Nigel
Gupta, Dinesh
Basker, Veeraraghavan
Loubet, Nicolas
Guo, Dechao
Haran, Bala
Knorr, Andreas
Bu, Huiming
DB Label
Database : IEEE Xplore Digital Library
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Full Text (IEEE)
3
Specific contact resistivity of n-type Si and Ge M-S and M-I-S contacts
회의자료
issue
2015 International Conference on Simulation of Semiconductor Processes and Devices (SISPAD) Simulation of Semiconductor Processes and Devices (SISPAD), 2015 International Conference on. :234-237 Sep, 2015
Author
Jiseok Kim
Oldiges, Phillip J.
Hui-feng Li
Niimi, Hiroaki
Raymond, Mark
Zeitzoff, Peter
Kamineni
,
Vimal
Adusumilli, Praneet
Chengyu Niu
Chafik, Fadoua
DB Label
Database : IEEE Xplore Digital Library
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Full Text (IEEE)
4
Middle of line RC performance study at the 7 nm node
회의자료
issue
2017 IEEE International Interconnect Technology Conference (IITC) Interconnect Technology Conference (IITC), 2017 IEEE International. :1-3 May, 2017
Author
Fan, Susan Su-Chen
Chen, James Hsueh-Chung
Kamineni
,
Vimal
Kumar
Zhang, Xunyuan
Raymond, Mark
Labelle, Cathy
DB Label
Database : IEEE Xplore Digital Library
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5
Electron-phonon interaction effects on the direct gap transitions of nanoscale Si films
보고서
Author
Kamineni
,
Vimal
K
Diebold, Alain C
DB Label
Database : arXiv
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Open Access (Arxiv)
6
Spectroscopic Ellipsometry of Nanoscale Materials for Semiconductor Device Applications
전자책
issue
Ellipsometry at the Nanoscale
. :557-581
Author
Diebold, Alain C.
Aff1
Nelson, Florence J.
Aff1
Kamineni
,
Vimal
K.
Aff2
DB Label
Database : Springer Nature eBooks
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7
Extension of Far UV spectroscopic ellipsometry studies of High-κ dielectric films to 130 nm
학술저널
issue
In
Thin Solid Films
28 February 2011 519(9):2894-2898
Author
Kamineni
,
Vimal
K.
Hilfiker, James N.
Freeouf, John L.
Consiglio, Steve
Clark, Robert
Leusink, Gert J.
Diebold, Alain C.
DB Label
Database : ScienceDirect
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8
Investigation of optical properties of benzocyclobutene wafer bonding layer used for 3D interconnects via infrared spectroscopic ellipsometry
학술저널
issue
In
Thin Solid Films
28 February 2011 519(9):2924-2928
Author
Kamineni
,
Vimal
K.
Singh, Pratibha
Kong, LayWai
Hudnall, John
Qureshi, Jamal
Taylor, Chris
Rudack, Andy
Arkalgud, Sitaram
Diebold, Alain C.
DB Label
Database : ScienceDirect
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Full Text (ScienceDirect)
조회 - Impact Factor (JCR)
등재 - Web of Science (SCIE)
등재 - SCOPUS
9
Replacement metal gate semiconductor device formation using low resistivity metals
특허
DB Label
Database : USPTO Patent Grants
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Open Access (USPTO)
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Defect and grain boundary scattering in tungsten: A combined theoretical and experimental study.
학술저널
issue
Journal of Applied Physics; 2018, Vol. 123 Issue 15, p1-N.PAG, 5p
Author
Lanzillo, Nicholas A.
Dixit, Hemant
Milosevic, Erik
Niu, Chengyu
Carr, Adra V.
Oldiges, Phil
Raymond, Mark V.
Cho, Jin
Standaert, Theodorus E.
Kamineni
,
Vimal
K.
DB Label
Database : Complementary Index
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조회 - Impact Factor (JCR)
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