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Modeling the plasma chemistry of C2F6 and CHF3 etching of silicon dioxide, with comparisons to etch rate and diagnostic data
학술저널
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JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS
; SEP-OCT 2001, 19 5, p2344-p2367, 24p.
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Modeling plasma chemistry for microelectronics manufacturing
학술저널
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THIN SOLID FILMS
; APR 17 2000, 365 2, p334-p347, 14p.
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Coupling computational fluid dynamics with chemistry and physics
학술저널
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CHEMICAL INNOVATION
; JAN 2000, 30 1, p21-p29, 9p.
Author
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등재 - Web of Science
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24
Molecular beam epitaxial growth of CdTe, HgTe, and Hg1-xCdxTe alloys.
학술저널
issue
Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics Processing & Phenomena; 1984, Vol. 2 Issue 2, p224-228, 5p
Author
Summers, C. J.
Meeks
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. L.
Cox, N. W.
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Molecular beam epitaxial growth of InGaAsP.
학술저널
issue
Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics Processing & Phenomena; 1983, Vol. 1 Issue 2, p182-185, 4p
Author
Holah, G. D.
Meeks
,
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. L.
Eisele, F. L.
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등재 - SCOPUS
26
Effects of atomic chlorine wall recombination: Comparison of a plasma chemistry model with experiment.
학술저널
issue
Journal of Vacuum Science & Technology: Part A-Vacuums, Surfaces & Films; 1995, Vol. 13 Issue 6, p2884-2889, 6p
Author
Meeks
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Shon, J. W.
Ra, Y.
Jones, P.
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Database : Complementary Index
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Infantile cortical hyperostosis--an allergic disease?
학술저널
issue
Southern Medical Journal; Jul1966, Vol. 59 Issue 7, p795-800, 6p
Author
BOWMAN, J R
PISTON, ROBERT
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Piston, R
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Capacitance Microphones for Measurement of Ultrasonic Properties of Solids.
학술저널
issue
Review of Scientific Instruments; Oct1971, Vol. 42 Issue 10, p1446-1449, 4p
Author
Meeks
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. L.
Peters, R. D.
Arnold, R. T.
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Database : Complementary Index
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Conclusion: Borders Old and New
단행본
issue
Border Citizens : The Making of Indians, Mexicans, and Anglos in Arizona
.
Author
Meeks, Eric V.
DB Label
Database : ProjectMUSE
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Cover
단행본
issue
Border Citizens : The Making of Indians, Mexicans, and Anglos in Arizona
.
Author
Meeks, Eric V.
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