1, 서론. -- 2, 기능성 미세구조체 제작 및 특성평가기술 개발. -- 3, 반도체 및 금속의 나누구조 형성과 전기적 특성조사. -- 4, COXI 및 metrological AFM 개발. -- 5, 박막의 표면/계면 분석기술 개발