v1, 서론. -- 2, 이론. -- 2.1, SiO₂박막. -- 2.2, 원료의 선택. -- 2.3, CVD 박막의 증착메카니즘. -- 2.4, 박막의 성장메카니즘. -- 2.5, 반응. -- 3, 실험. -- 4, 결과 및 고찰. -- 4.1, 적층에 미치는 온도의 영향. -- 4.2, N₂유속의 영향마토그래피 칼럼. -- 4.3, O₂의 영향. -- 4.4, 반응 시간에 대한 영향. -- 4.5, TG/DTA. -- 4.6, SEM. -- 4.7, X-ray diffiractometer. -- 4.8, FTIR. -- 4.9, ESCA. -- 5, 결론