1, 서론. -- 2, FHD 원리 및 특성. -- 2.1, FHD에 의한 박막 증착 원리. -- 2.2, FHD의 특성 및 장점. -- 3, 실험장치와 특성측정 방법. -- 3.1, FHD장치의 구성. -- 3.2, 증착 및 고밀화공정. -- 3.3, 박막의 특성 측정방법. -- 4, 티타늄 첨가 BSG도파로의 제작 및 특성. -- 4.1, 개요. -- 4.2, 티타늄 첨가 도파박막 및 채널도파로 제작. -- 4.3, 티타늄 첨가 도파박막의 특성 및 도파로의 구조. -- 5, 복굴절이 감소된 게르마늄 첨가 BSG 도파로의 제작 및 특성. -- 5.1, 개요. -- 5.2, 도파박막의 복굴절. -- 5.3, 복굴절이 감소된 도파로의 제작. -- 6, 1.3/1.55μm WDM결합기(coupler)의 제작 및 특성. -- 6.1, 개요. -- 6.2, WDM의 설계 및 제작. -- 6.3, WDM의 특성. -- 7, 결론.